Ultrabinafsha nurlar fotoelektron spektrometrning tuzilishini o’rganish

Yuklangan vaqt

2024-03-31

Yuklab olishlar soni

1

Sahifalar soni

25

Faytl hajmi

684,5 KB


 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
BITIRUV MALAKAVIY ISHI 
 
 
 
 
 
 
“Ultrabinafsha nurlar fotoelektron spektrometrning tuzilishini o’rganish”  
mavzusidagi  
 
 
 
 
           
BITIRUV MALAKAVIY ISHI “Ultrabinafsha nurlar fotoelektron spektrometrning tuzilishini o’rganish” mavzusidagi
Mavzu: Ultrabinafsha nurlar fotoelektron spektrometrning tuzilishini 
o’rganish. 
 
Kirish. 
I .bob.   Fotoelektronlar spektroskopiyasi usullariga oid adabiyotlarning 
qisqacha mazmuni 
1.1    Yuzalarni tekshirishda fotonlar oqimidan foydalanish. 
1.2     Tashqi fotoeffekt qonunlari. 
1.3      Ultrabinafsha nurlarning fotoelektron spektroskopiyasini (UBFE)va valent 
zonada elektronlar taqsimoti orasidagi bog’lanish…………. 
Bitiruv ishining asosiy vazifalari. 
 
II -bob.     Fotoelektronlar spektrometrining tuzilishi. 
2.1     To’xtatuvchi(tormozlovchi )maydonli analizatorga ega bo’lgan 
spektrometrlar 
2.2     Fotonlar manbai. 
2.3     To’rt turli analizatorni yig’ish shartlari. 
2.4     Yuqori vakkum olish. 
 
III -bob         Fotoelektron spektroskopiya yordamida metallar va yarim 
o’tkazgichlar zonalarining parametrini aniqlash. 
3.1     Metal sirti zonalarining parametrlarini aniqlash. 
3.2     Aralashmasi yo’q ideal yarim o’tkazgich zonalarining parametrlarini 
o’rganish. 
 
Xulosa 
 
Hayotiy faoliyati  xavfsizligi 
 
Iqtisodiy qism 
 
Foydalanilgan adabiyotlar 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
Mavzu: Ultrabinafsha nurlar fotoelektron spektrometrning tuzilishini o’rganish. Kirish. I .bob. Fotoelektronlar spektroskopiyasi usullariga oid adabiyotlarning qisqacha mazmuni 1.1 Yuzalarni tekshirishda fotonlar oqimidan foydalanish. 1.2 Tashqi fotoeffekt qonunlari. 1.3 Ultrabinafsha nurlarning fotoelektron spektroskopiyasini (UBFE)va valent zonada elektronlar taqsimoti orasidagi bog’lanish…………. Bitiruv ishining asosiy vazifalari. II -bob. Fotoelektronlar spektrometrining tuzilishi. 2.1 To’xtatuvchi(tormozlovchi )maydonli analizatorga ega bo’lgan spektrometrlar 2.2 Fotonlar manbai. 2.3 To’rt turli analizatorni yig’ish shartlari. 2.4 Yuqori vakkum olish. III -bob Fotoelektron spektroskopiya yordamida metallar va yarim o’tkazgichlar zonalarining parametrini aniqlash. 3.1 Metal sirti zonalarining parametrlarini aniqlash. 3.2 Aralashmasi yo’q ideal yarim o’tkazgich zonalarining parametrlarini o’rganish. Xulosa Hayotiy faoliyati xavfsizligi Iqtisodiy qism Foydalanilgan adabiyotlar
 
Kirish. 
 
Keyingi 20-25 yil ichida yuzalarning tarkibini,tuzilishini va xususiyatlarini 
o’rganishga juda katta e’tibor qaratilmoqda.Bu esa o’z navbatida yuzalarning 
tekshirish usullarining kengayishiga va rivojlanishiga olib kelmoqda.Bunga asosiy 
sabab jismlarning qator(emessiya,optik, yemirilishga chidamlilik,ayrim mexanik 
,fizik va ximiyaviy)xususiyatlarining k’op jihatdan uning ichki qatlamlariga 
emas,balki yuza qatlamlariga bog’liq ekanligidir.Jumladan hozirgi zamon 
texnalogiyasida ,xususan mikro va optoelektronikada , qattiq jismning yuza va 
yuza osti qismi asosiy o’rinni egallaydi.Bu qatlamlarning tarkibini va tuzilishini 
o’zgartirish 
uchun 
juda 
ko’p 
usullar 
qo’llaniladi.Ionlarni 
implantatsiya 
qilish,diffuziya,impulsli electron dastalari va lazer nurlari bilan ishlov 
berish,yuqori haroratda qizdirish.Undan tashqari qattiq jism yuzada molekulyar 
oqimlardan foydalanib kerakli kristallarning yupqa epifaksial qatlamlarini hosil 
qilish ham juda ahamiyatlidir. 
          Zamonaviy tekshirish usullari jism yuzasiga zarralar (elktron,ion,neytral 
atom,yoki molekula,foton(to’lqin tabiatini tekshirmaganligimiz uchun fotonlarni 
ham zarra deb ataymiz)),keskin qizdirish yoki kuchli elektr maydoni bilan ta’sir 
qilib,undan uchib chiqayotgan zarralarni har tomonlama analiz qilishga 
asoslangan.Amalda ionlar,elektronlar va fotonlar ta’siriga hamda  analizga 
asoslangan usullar ko’p qo’llaniladi. 
          Qattiq  jism yuzalarining electron tuzilishini o’rganish uchun ultrabinafsha 
nurlarning fotoelektron spektroskopiyasi usulidan keng foydalaniladi.Bu usul 
yuzalarning zonalari parametrlarini aniqlash,ularda elektronlar taqsimoti to’g’risida 
bevosita axborot bera oladigan yagona usulidir.Bu bitiruv ishi to’rt turli 
fotoelektron spektrometrining tuzilishini o’rganishga bag’ishlangan. 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
Kirish. Keyingi 20-25 yil ichida yuzalarning tarkibini,tuzilishini va xususiyatlarini o’rganishga juda katta e’tibor qaratilmoqda.Bu esa o’z navbatida yuzalarning tekshirish usullarining kengayishiga va rivojlanishiga olib kelmoqda.Bunga asosiy sabab jismlarning qator(emessiya,optik, yemirilishga chidamlilik,ayrim mexanik ,fizik va ximiyaviy)xususiyatlarining k’op jihatdan uning ichki qatlamlariga emas,balki yuza qatlamlariga bog’liq ekanligidir.Jumladan hozirgi zamon texnalogiyasida ,xususan mikro va optoelektronikada , qattiq jismning yuza va yuza osti qismi asosiy o’rinni egallaydi.Bu qatlamlarning tarkibini va tuzilishini o’zgartirish uchun juda ko’p usullar qo’llaniladi.Ionlarni implantatsiya qilish,diffuziya,impulsli electron dastalari va lazer nurlari bilan ishlov berish,yuqori haroratda qizdirish.Undan tashqari qattiq jism yuzada molekulyar oqimlardan foydalanib kerakli kristallarning yupqa epifaksial qatlamlarini hosil qilish ham juda ahamiyatlidir. Zamonaviy tekshirish usullari jism yuzasiga zarralar (elktron,ion,neytral atom,yoki molekula,foton(to’lqin tabiatini tekshirmaganligimiz uchun fotonlarni ham zarra deb ataymiz)),keskin qizdirish yoki kuchli elektr maydoni bilan ta’sir qilib,undan uchib chiqayotgan zarralarni har tomonlama analiz qilishga asoslangan.Amalda ionlar,elektronlar va fotonlar ta’siriga hamda analizga asoslangan usullar ko’p qo’llaniladi. Qattiq jism yuzalarining electron tuzilishini o’rganish uchun ultrabinafsha nurlarning fotoelektron spektroskopiyasi usulidan keng foydalaniladi.Bu usul yuzalarning zonalari parametrlarini aniqlash,ularda elektronlar taqsimoti to’g’risida bevosita axborot bera oladigan yagona usulidir.Bu bitiruv ishi to’rt turli fotoelektron spektrometrining tuzilishini o’rganishga bag’ishlangan.
 
I-bob. 
Fotoelektronlar spektroskopiyasi usullariga oid adabiyotlarning qisqacha 
tahlili. 
         Qattiq jism yuzasiga fotonlar oqimi kelib tushganda undan elektronlar uchib 
chiqishi ko’zatiladi.Bu hodisa tashqi fotoeffekt deb ataladi.Bu eketronlarning 
energiya boyicha taqsimotini tahlil qilish orqali yuzalarning holati to’g’risida 
qimmatli ma’lumotlar olish mumkin.Olinishi lozim bo’lagan ma’lumotlarning 
turiga qarab har xil to’lqin uzunlikdagi (chastotali)yorug’lik nurlaridan foydalanish 
mumkin.Bunda albatta fotonlarning energiyasi  (
  hv
) elektronlarning chiqish 
ishiga  (
A  e
) teng yoki undan katta bo’lishi kerak.Shuning uchun ham 
fotonlar spektroskopiyasida asosan ultrabinafsha (
eV
hv
350
) va rontgen  
(
eV
hv
 502000
) nurlar ishlatiladi. 
(Ichki fotoeffekt hodisalarga asoslangan usullarda infraqizil va ko’zga ko’rinuvchi 
nurlardan foydalaniladi). 
          Kvant (foton) larining energiyasi juda kichik qiymatga ega bulganligi uchun 
ularni Joullarda emas,elektron-voltlarda o’lchash qo’laydir. 
 (
Joul
eV
1.6 10 19
1



) . 
          Kvantning electron-voltlarda ifodalanadigan energiyasi bilan uning 
nanometrlarda o’lchangan to’lqin uzunligi orasidagi quyidagi bog’lanish mavjud. 
              
                                          =


hv  hc 1236/
 
 
 
(1.1) 
 
          Masalan,binafsha nurlar uchun 
 380nm
 ligi ma’lum bo’lsa,bu nurlarning 
har kvantining energiyasi  
.3 25eV
1236/380

 
 bo’ladi. 
          Elektromagnit to’lqinlarning chastotasi v yoki to’lqin uzunligi  
  c/v
 
elektromagnit nurlanishning asosiy xarakterestikasi bo’lib hisoblanadi. 
          Bir xil chastotali (to’lqin uzunlikli ) nurlar dastasi monoxromatik nurlar 
deyiladi.Birlik vaqt ichida birlik yuzadan o’tayotgan monoxromatik fotonlar oqimi  
F orqali nurlanish intensivligi  
q
N ni quyidagi formula yordamida aniqlash 
mumkin. 
 
hv
N q  F
                       
                (1.2) 
          Ultrabinafsha nurlarning electron spetroskopiyasi (UBES) qattiq jismning 
yuza qismida valent elektronlarning energetic taqsimoti haqida bevosita ma’lumot 
bera oladigan yagona usuldir. 
 
 
 
 
 
I-bob. Fotoelektronlar spektroskopiyasi usullariga oid adabiyotlarning qisqacha tahlili. Qattiq jism yuzasiga fotonlar oqimi kelib tushganda undan elektronlar uchib chiqishi ko’zatiladi.Bu hodisa tashqi fotoeffekt deb ataladi.Bu eketronlarning energiya boyicha taqsimotini tahlil qilish orqali yuzalarning holati to’g’risida qimmatli ma’lumotlar olish mumkin.Olinishi lozim bo’lagan ma’lumotlarning turiga qarab har xil to’lqin uzunlikdagi (chastotali)yorug’lik nurlaridan foydalanish mumkin.Bunda albatta fotonlarning energiyasi (   hv ) elektronlarning chiqish ishiga ( A  e ) teng yoki undan katta bo’lishi kerak.Shuning uchun ham fotonlar spektroskopiyasida asosan ultrabinafsha ( eV hv 350 ) va rontgen ( eV hv  502000 ) nurlar ishlatiladi. (Ichki fotoeffekt hodisalarga asoslangan usullarda infraqizil va ko’zga ko’rinuvchi nurlardan foydalaniladi). Kvant (foton) larining energiyasi juda kichik qiymatga ega bulganligi uchun ularni Joullarda emas,elektron-voltlarda o’lchash qo’laydir. ( Joul eV 1.6 10 19 1    ) . Kvantning electron-voltlarda ifodalanadigan energiyasi bilan uning nanometrlarda o’lchangan to’lqin uzunligi orasidagi quyidagi bog’lanish mavjud.  =   hv  hc 1236/ (1.1) Masalan,binafsha nurlar uchun  380nm ligi ma’lum bo’lsa,bu nurlarning har kvantining energiyasi .3 25eV 1236/380    bo’ladi. Elektromagnit to’lqinlarning chastotasi v yoki to’lqin uzunligi   c/v elektromagnit nurlanishning asosiy xarakterestikasi bo’lib hisoblanadi. Bir xil chastotali (to’lqin uzunlikli ) nurlar dastasi monoxromatik nurlar deyiladi.Birlik vaqt ichida birlik yuzadan o’tayotgan monoxromatik fotonlar oqimi F orqali nurlanish intensivligi q N ni quyidagi formula yordamida aniqlash mumkin. hv N q  F (1.2) Ultrabinafsha nurlarning electron spetroskopiyasi (UBES) qattiq jismning yuza qismida valent elektronlarning energetic taqsimoti haqida bevosita ma’lumot bera oladigan yagona usuldir.
 
 
1.1      Yuzalarni tekshirishda fotonlar oqimidan foydalanish. 
 
         Yuzalarni diagnostika qilishda zond sifatida ishlatiladigan zarralarning 
orasida fotonlar yuza xususiyatlariga eng kam ta’sir qiladigan zarradir.Bunga 
sabab: birinchidan,fotonning impulsi juda kichik , ikkinchidan, u neytral zarra 
bo’lganligi uchun yuzalarning zaryadlanib qolishiga bog’liq bo’lgan jarayonlar 
keskin kamayadi.Fotonlardan foydalanishning salbiy tomonlari ham bor.Kerakli 
diapazonda fotonlarning kuchli intensivlika ega bo’lgan oqimini olish juda qiyin. 
Bundan tashqari ikkilamchi zarralarni hosil qilish effekti juda kam.Shuning uchun 
yuza qatlamlaridan chiqayotgan signallar juda kichik bo’ladi.Ammo sezgirligi 
yuqori bo’lgan  zamonaviy dedektorlardan foydalanib bunday signallarni katta 
aniqlik bilan qayd qilish mumkin. 
         Asosan foto-elektron va foto-foton emessiyaga asoslangan usullar ko’p 
qo’llaniladi.(1.1-rasm).Yuzaga tushayotgan va undan qaytayotgan fotonlarning 
to’lqin uzunliklariga qarab to’rtta guruhga ajratish mumkin.Infraqizil (I,Q),ko’zga 
ko’rinadigan ultrabinafsha (U,B) va rentgen nurlari.Fotonlar bilan nurlantirishga 
asoslangan 
usullar: 
UBES 
– 
Ultrabinafsha 
nurlar 
fotoelektron 
spektroskopiyasi;RFES- Rentgen nurlari ;FESI:KAES – Kimyoviy analiz uchun 
electron spetroskopiya : NKS – Nurlarning kombinatsion sochilishi; RFS – 
Rentgen – foton spektroskopiyasi. 
    Bu usul orasida quyidagilarni alohida taq’kidlash mumkin: 
1.IQ – yutilish. Bunda IQ fotonlar yuzasining monomolekulyar tebranma holatni 
vijudaga keltirish mumkin:IQ ning bu tebranishlaridan yutilishini tahlil qilib yuza 
qatlamining molekulyar tuzilishi haqida ma‘lumot olinadi.Yarim o’tkazgichlarda 
va dielektriklarda (I.Q) nurlar yutilishi natijasida donor sathlardan o’tkazuvchanlik 
zonasiga , valent zonadan akseptor sathlarga elektronlar o’tishi roy beradi.Bu esa 
donor va akseptor sathlarning energetik holatini aniqlash imkonini beradi. 
        2. Ko’zga ko’rinuvchi nurlar diapozonida ellepsometriya va nurlarning 
kombinatsion sochilishi (NKS) usullari qo’llaniladi.Ellepsometriya usulida 
yuzaga yaxshi nazorat qilinadigan nurlar dastasi yuboriladi va unig qaytishida 
qutblanish fazasining o’zgarishi tahlil qilinadi.Bunda yuzaning holati to’g’risida 
ma’lumot sindirish ko’rsatgichini o’lchash orqali olinadi. 
          NKS usuli, yorug’likning material bilan ta’sirlashishi natijasida har xil 
o’tishlarning vijudga kelishiga asoslangan.Sochilayotgan fotonlar bunday o’tishlar 
natijasida o’z energiyasini oshirishi yoki kamaytirishi mumkin.Emessiyalangan 
fotonlar chastotalarning o’zgarishini analiz qilib,tekshirilayotgan jismning yuzasi 
to’g’risida ma’lumot olinadi. 
        3. UB- yutilish.Bu usul ko’proq yuza va yuza osti qatlamlarida 
elektronlarning energetik taqsimoti haqida eng aniq ma’lumotlar bera oladi.Bu usul 
yordamida yuza qatlamlarning zonaviy tuzilishi va zona parametrlari aniqlanadi. 
        4. Rentgen – foton spektroskopiyasi. 
Rentgen nurlar ta’sirida jismdagi atomlarning elektronlari nbir sathdan ikkinchi 
sathga o’tadi. Bunda qoldiq energiya nurlanish (foton) hosil qilishi mumkin. Bu 
1.1 Yuzalarni tekshirishda fotonlar oqimidan foydalanish. Yuzalarni diagnostika qilishda zond sifatida ishlatiladigan zarralarning orasida fotonlar yuza xususiyatlariga eng kam ta’sir qiladigan zarradir.Bunga sabab: birinchidan,fotonning impulsi juda kichik , ikkinchidan, u neytral zarra bo’lganligi uchun yuzalarning zaryadlanib qolishiga bog’liq bo’lgan jarayonlar keskin kamayadi.Fotonlardan foydalanishning salbiy tomonlari ham bor.Kerakli diapazonda fotonlarning kuchli intensivlika ega bo’lgan oqimini olish juda qiyin. Bundan tashqari ikkilamchi zarralarni hosil qilish effekti juda kam.Shuning uchun yuza qatlamlaridan chiqayotgan signallar juda kichik bo’ladi.Ammo sezgirligi yuqori bo’lgan zamonaviy dedektorlardan foydalanib bunday signallarni katta aniqlik bilan qayd qilish mumkin. Asosan foto-elektron va foto-foton emessiyaga asoslangan usullar ko’p qo’llaniladi.(1.1-rasm).Yuzaga tushayotgan va undan qaytayotgan fotonlarning to’lqin uzunliklariga qarab to’rtta guruhga ajratish mumkin.Infraqizil (I,Q),ko’zga ko’rinadigan ultrabinafsha (U,B) va rentgen nurlari.Fotonlar bilan nurlantirishga asoslangan usullar: UBES – Ultrabinafsha nurlar fotoelektron spektroskopiyasi;RFES- Rentgen nurlari ;FESI:KAES – Kimyoviy analiz uchun electron spetroskopiya : NKS – Nurlarning kombinatsion sochilishi; RFS – Rentgen – foton spektroskopiyasi. Bu usul orasida quyidagilarni alohida taq’kidlash mumkin: 1.IQ – yutilish. Bunda IQ fotonlar yuzasining monomolekulyar tebranma holatni vijudaga keltirish mumkin:IQ ning bu tebranishlaridan yutilishini tahlil qilib yuza qatlamining molekulyar tuzilishi haqida ma‘lumot olinadi.Yarim o’tkazgichlarda va dielektriklarda (I.Q) nurlar yutilishi natijasida donor sathlardan o’tkazuvchanlik zonasiga , valent zonadan akseptor sathlarga elektronlar o’tishi roy beradi.Bu esa donor va akseptor sathlarning energetik holatini aniqlash imkonini beradi. 2. Ko’zga ko’rinuvchi nurlar diapozonida ellepsometriya va nurlarning kombinatsion sochilishi (NKS) usullari qo’llaniladi.Ellepsometriya usulida yuzaga yaxshi nazorat qilinadigan nurlar dastasi yuboriladi va unig qaytishida qutblanish fazasining o’zgarishi tahlil qilinadi.Bunda yuzaning holati to’g’risida ma’lumot sindirish ko’rsatgichini o’lchash orqali olinadi. NKS usuli, yorug’likning material bilan ta’sirlashishi natijasida har xil o’tishlarning vijudga kelishiga asoslangan.Sochilayotgan fotonlar bunday o’tishlar natijasida o’z energiyasini oshirishi yoki kamaytirishi mumkin.Emessiyalangan fotonlar chastotalarning o’zgarishini analiz qilib,tekshirilayotgan jismning yuzasi to’g’risida ma’lumot olinadi. 3. UB- yutilish.Bu usul ko’proq yuza va yuza osti qatlamlarida elektronlarning energetik taqsimoti haqida eng aniq ma’lumotlar bera oladi.Bu usul yordamida yuza qatlamlarning zonaviy tuzilishi va zona parametrlari aniqlanadi. 4. Rentgen – foton spektroskopiyasi. Rentgen nurlar ta’sirida jismdagi atomlarning elektronlari nbir sathdan ikkinchi sathga o’tadi. Bunda qoldiq energiya nurlanish (foton) hosil qilishi mumkin. Bu
nurlanishlarning chastotalari va intensivliklarini analiz qilib , yuza holati 
to’g’risida juda kerakli ma’lumotlar olinadi. 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
nurlanishlarning chastotalari va intensivliklarini analiz qilib , yuza holati to’g’risida juda kerakli ma’lumotlar olinadi.
        
Foto – elektron emessiyaga asoslangan metodlar juda ko’p.Ularning eng  
asosiylari: 
1. Ultrabinafsha fotoelektronlarning spektroskopiyasi (UBES). Yuzalardan 
ultrabinafsha nurlar ta’sirida uchib chiqqan elektronlarning energiya boyicha 
taqsimlanishi analiz qilinadi.UBES valent zonasidagi elektronlarning energiya 
boyicha taqsimoti (spektri) haqida to’g’ridan-to’g’ri informatsiya beradi.Bundan 
tashqari zonalarning parametrlarini (kengligi,Fermi sathining o’rni, zonalarning 
egilishi va boshqalarni ) aniqlashga imkon beradi. 
2.    Rentgen fotoelektronlarning spektroskopiyasi (RFES).Bu metod valent zona 
va undan pastda joylashgan electron sathlar to’g’risida ma’lumot bera oladi. 
3.   Kimyoviy analiz uchu8n elektronlar spektroskopiya (KAES).Bu metod OES  
metodiga o’xshash.Bunda pastki elektron sathlardagi bo’sh o’rinlar elektron 
ta’sirida emas , rentgen nurlari ta’sirida hosil qilinadi.2-bobga qarang.KAES- 
yordamida material yuzasining elementar va kimyoviy tarkibi,atomlarning 
konsentrasiyalari aniqlanadi. 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
Foto – elektron emessiyaga asoslangan metodlar juda ko’p.Ularning eng asosiylari: 1. Ultrabinafsha fotoelektronlarning spektroskopiyasi (UBES). Yuzalardan ultrabinafsha nurlar ta’sirida uchib chiqqan elektronlarning energiya boyicha taqsimlanishi analiz qilinadi.UBES valent zonasidagi elektronlarning energiya boyicha taqsimoti (spektri) haqida to’g’ridan-to’g’ri informatsiya beradi.Bundan tashqari zonalarning parametrlarini (kengligi,Fermi sathining o’rni, zonalarning egilishi va boshqalarni ) aniqlashga imkon beradi. 2. Rentgen fotoelektronlarning spektroskopiyasi (RFES).Bu metod valent zona va undan pastda joylashgan electron sathlar to’g’risida ma’lumot bera oladi. 3. Kimyoviy analiz uchu8n elektronlar spektroskopiya (KAES).Bu metod OES metodiga o’xshash.Bunda pastki elektron sathlardagi bo’sh o’rinlar elektron ta’sirida emas , rentgen nurlari ta’sirida hosil qilinadi.2-bobga qarang.KAES- yordamida material yuzasining elementar va kimyoviy tarkibi,atomlarning konsentrasiyalari aniqlanadi.
 
1.2  Tashqi fotoeffekt qonunlari. 
 
Yorug’lik ta’sirida qattiq 
jism 
yuzasidan vakumga 
uchib chiqayotgan 
elektronlarning emessiyaga oid qonunlarni ko’rib o’tamiz. 
Fotoeffektning 
asosiy 
qonunlari 
tajribalar 
asosida 
yaratilgan 
bo’lib 
u 
monoxromatik nurlar uchun quyidagilardan iborat. 
       1.Toyinish rejimida  (ya’ni uchib chiqayotgan barcha fotoelektronlar qayd 
qilinganda ) fototokning qiymati jismga tushayotgan nurlarning intensivligiga 
to’g’ri proporsional bo’ladi (Stoletov qonuni). 
       2.Har bir jism uchun ma’lum bir chegaraviy 
0
 to’lqin uzunlik mavjud 
bo’lib,jismga 
tushayotgan 
nurlarning 
to’lqin 
uzunligi 
  
dan 
katta 
bo’lsa,fotoemessiya hodisasi roy bermaydi. Ko’pincha bu qonun fotoeffektning 
qizil ( yoki uzun to’lqinli )chegarasi deb ataladi. Uzun to’lqinli chegaraga 
chastotaning eng kichik qiymati mos keladi : 
0
0
/ 

 с
.Bu yerda 
0v chegaraviy 
chastota deyiladi.Agar tushayotgan nur chastotasi  
0v  dan kichik bo’lsa , fotoeffekt 
roy bermaydi. 
       3.Fotoelektronlarning maksimal kinetik energiyasi chastota oshishi bilan oshib 
boradi va fotonlarning intensivligiga bog’liq bo’lmaydi.(Eynshteyn qonuni). 
       Umuman Eynshteyn fotoeffekt qonunlarini o’zida to’la mujassamlashtirgan 
qonunni yaratdi.Bunday qonunni yaratishda u o’z tajribalari yordamida asoslangan 
quyidagi ikkita mulohazalardan foydalandi:birinchidan foton jism elektroni bilan 
to’qnashganda , unga o’zining barcha energiyasini to’la beradi,ikkinchidan jism 
elektroni bitta fotondan energiya olib hayajonlanish davrida 
14 с
13
10
10



 
 
boshqa fotonlar energiya olmaydi,ya’ni har bir uchib chiqqan elektron faqatgina 
bitta 
fotonning 
energiyasini 
olgan 
bo’ladi.(Bu 
aytilgan 
fikrlar 
yuqori 
intensivlikdagi nurlar uchun,masalan lazer nurlari uchun bajarilmaydi. 
        Eynshteyn qonuni to’laroq holda quyidagicha ifodalanishi mumkin:jismga 
tushayotgan foton energiyasining bir qismi chiqish ishini yengishga , qolgan qismi 
esa elektronlarga kinetic energiya berishga sarf bo’ladi. 
 
                                
2
2
mmax
A
hv


 
 
(1.3) 
 
bu yerda A-fotoelektronlarning chiqish ishi,m – elektronning massasi,
max
- 
fotoelektronlarning maksimal tezligi,
/ 2
2
mmzx
 - ularning maksimal kinetic 
energiyasi. 
        Uchib chiqayotgan fotoelektronlarning vakkumfagi maksimal kinetic 
energiyasi (tezligi)har xil bo’lishi mumkin.Bunga sabab bu elektronlarning jism 
ichidagi boshlang’ich energiyalarning har xilligidir.Fotondan energiya olganga 
qadar jism ichidagi elektronlarning energiyasi qancha katta bo’lasa,uchib 
chiqqandan keyin ham uning energiyasi shuncha katta bo’ladi.Ma’salan , qattiq 
1.2 Tashqi fotoeffekt qonunlari. Yorug’lik ta’sirida qattiq jism yuzasidan vakumga uchib chiqayotgan elektronlarning emessiyaga oid qonunlarni ko’rib o’tamiz. Fotoeffektning asosiy qonunlari tajribalar asosida yaratilgan bo’lib u monoxromatik nurlar uchun quyidagilardan iborat. 1.Toyinish rejimida (ya’ni uchib chiqayotgan barcha fotoelektronlar qayd qilinganda ) fototokning qiymati jismga tushayotgan nurlarning intensivligiga to’g’ri proporsional bo’ladi (Stoletov qonuni). 2.Har bir jism uchun ma’lum bir chegaraviy 0  to’lqin uzunlik mavjud bo’lib,jismga tushayotgan nurlarning to’lqin uzunligi  dan katta bo’lsa,fotoemessiya hodisasi roy bermaydi. Ko’pincha bu qonun fotoeffektning qizil ( yoki uzun to’lqinli )chegarasi deb ataladi. Uzun to’lqinli chegaraga chastotaning eng kichik qiymati mos keladi : 0 0 /    с .Bu yerda 0v chegaraviy chastota deyiladi.Agar tushayotgan nur chastotasi 0v dan kichik bo’lsa , fotoeffekt roy bermaydi. 3.Fotoelektronlarning maksimal kinetik energiyasi chastota oshishi bilan oshib boradi va fotonlarning intensivligiga bog’liq bo’lmaydi.(Eynshteyn qonuni). Umuman Eynshteyn fotoeffekt qonunlarini o’zida to’la mujassamlashtirgan qonunni yaratdi.Bunday qonunni yaratishda u o’z tajribalari yordamida asoslangan quyidagi ikkita mulohazalardan foydalandi:birinchidan foton jism elektroni bilan to’qnashganda , unga o’zining barcha energiyasini to’la beradi,ikkinchidan jism elektroni bitta fotondan energiya olib hayajonlanish davrida  14 с 13 10 10      boshqa fotonlar energiya olmaydi,ya’ni har bir uchib chiqqan elektron faqatgina bitta fotonning energiyasini olgan bo’ladi.(Bu aytilgan fikrlar yuqori intensivlikdagi nurlar uchun,masalan lazer nurlari uchun bajarilmaydi. Eynshteyn qonuni to’laroq holda quyidagicha ifodalanishi mumkin:jismga tushayotgan foton energiyasining bir qismi chiqish ishini yengishga , qolgan qismi esa elektronlarga kinetic energiya berishga sarf bo’ladi. 2 2 mmax A hv   (1.3) bu yerda A-fotoelektronlarning chiqish ishi,m – elektronning massasi, max - fotoelektronlarning maksimal tezligi, / 2 2 mmzx - ularning maksimal kinetic energiyasi. Uchib chiqayotgan fotoelektronlarning vakkumfagi maksimal kinetic energiyasi (tezligi)har xil bo’lishi mumkin.Bunga sabab bu elektronlarning jism ichidagi boshlang’ich energiyalarning har xilligidir.Fotondan energiya olganga qadar jism ichidagi elektronlarning energiyasi qancha katta bo’lasa,uchib chiqqandan keyin ham uning energiyasi shuncha katta bo’ladi.Ma’salan , qattiq
jismning valent zonasidagi elektronlar ichida valent zonaning tepa qismidagilari 
eng katta energiyaga ega bo’ladi.Demak,vakumda ham bu zonaning tepa qismidan 
chiqqan elektronlar eng katta energiyaga ega bo’ladi.Valent zonaning pastki 
qismlaridan chiqqan elektronlar kamroq energiyaga ega bo’ladi. 
        Fotoeffektni miqdoriy jihatdan xarakterlash uchun fotoelektronlarning kvant 
chiqishi  degan kattalik ishlatiladi. 
 
                                      
N f
n
 
                
      (1.4) 
 
n-uchib chiqqan elektronlar soni,
f
N - yuzaga tushayotgan fotonlar soni. 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
jismning valent zonasidagi elektronlar ichida valent zonaning tepa qismidagilari eng katta energiyaga ega bo’ladi.Demak,vakumda ham bu zonaning tepa qismidan chiqqan elektronlar eng katta energiyaga ega bo’ladi.Valent zonaning pastki qismlaridan chiqqan elektronlar kamroq energiyaga ega bo’ladi. Fotoeffektni miqdoriy jihatdan xarakterlash uchun fotoelektronlarning kvant chiqishi  degan kattalik ishlatiladi. N f n   (1.4) n-uchib chiqqan elektronlar soni, f N - yuzaga tushayotgan fotonlar soni.
 
1.3  UBES va valent zonada elektronlar taqsimoti orasidagi      
                                          bog’lanish 
 
1.2 – rasmda metallning yuza qismida valent elektronlarning energetik taqsimoti va 
shu metallda vakumga uchib chiqayotgan fotoelektronlarning spektri sxematik 
ravishda ko’rsatilgan.Bu spektrlarning ko’rinishi bir-biriga juda o’xshash.Bundan 
fotoelektronlar spektrini yozib olish orqali valent elektronlarning taqsimoti haqida 
to’g’ridan-to’g’ri ma’lumot olish mumkin,degan xulosa kelib chiqadi.Rasmdan 
ko’rinadiki,agar elektronlarning metal ichidagi to’la energiyasi E - bo’lsa,uning 
fotondan energiya olib vakumga uchib chiqishi uchun quyidagi shart bajarilishi 
kerak. 
 
                                         



EV
hv
E
 
(1.5) 
 
1.2 rasm,metallda valent elektronlarining energiya boyicha taqsimlanishi   
n E
 va 
fotoelektronlarning spektri 
 
N E
: 

E -boshlang’ich energiya ,

E -fotoelektronlar 
energiyasi,
B
E - vakum sathi,
V
E - valent zonaning eng yuqori sathi,
F
E - Fermi sathi. 
     Bu yerda 
V
E  - valent zonaning eng yuqori sathi.Bu sath metallarda Fermi sathi 
bilan ustma-ust tushadi. -fotoelektronlarning chiqish ishi.U holda vakumga 
uchib chiqqan elektronlarning energiyasi quyidagiga teng bo’ladi. 
 
                                     

 




V
kin
E
hv
E
E
 
(1.6) 
 
Jism ichidagi eng katta energiyaga ega bo’lgan elektronlar 
V
E sahtda joylashgan 
bo’ladi,ya’ni 
E  EV
 sathdan uchib chiqqan elektronlar eng katta kinetik 
energiyaga ega bo’ladi.Demak 
E  EV
bo’lgan hol uchun (1.6) quyidagi ko’rinishga 
ega bo’ladi. 
                                     
Ekin max  hv 
.
 
(1.7) 
Bu formula Eynshteyn formulasi deyiladi.(1.3-formulaga qarang)  
       Elektronlar valent zonasining   
V
E  ga nisbatan qancha quyi sohasidan uchib 
chiqsa,uning vakumdagi kinetik energiyasi shuncha kam bo’ladi.Bunda ma’lum 
energiya 
bilan 
chiqayotgan 
fotoelektronlarning 
soni 
valent 
zonasidagi 
elektronlarning zichligiga bog’liq bo’ladi.Zichlik katta ( maksimum)bo’lgan 
sohalardan uchib chiqayotgan elektronlar soni ko’p,zichlik kichik bo’lgan 
sohalardan uchib chiqqan elektronlar soni esa kam bo’ladi. 
       Metall va yarim o’tkazgichlarning valent zonasidagi elektronlarning energiya 
boyicha taqsimotini o’rganishda energiyasi 
ev
hv
1015
  bo’lgan fotonlardan 
foydalanish maqsadga muvofiqdir. 
       Fotonlar energiyasi bundan katta bo’lsa,uchib chiqayotgan fotoelektronlar 
tarkibida ikkilamchi (fotoelektronlar jum ichida harakat qilishi vaqtda hosil qilgan) 
1.3 UBES va valent zonada elektronlar taqsimoti orasidagi bog’lanish 1.2 – rasmda metallning yuza qismida valent elektronlarning energetik taqsimoti va shu metallda vakumga uchib chiqayotgan fotoelektronlarning spektri sxematik ravishda ko’rsatilgan.Bu spektrlarning ko’rinishi bir-biriga juda o’xshash.Bundan fotoelektronlar spektrini yozib olish orqali valent elektronlarning taqsimoti haqida to’g’ridan-to’g’ri ma’lumot olish mumkin,degan xulosa kelib chiqadi.Rasmdan ko’rinadiki,agar elektronlarning metal ichidagi to’la energiyasi E - bo’lsa,uning fotondan energiya olib vakumga uchib chiqishi uchun quyidagi shart bajarilishi kerak.    EV hv E (1.5) 1.2 rasm,metallda valent elektronlarining energiya boyicha taqsimlanishi   n E va fotoelektronlarning spektri   N E :  E -boshlang’ich energiya ,  E -fotoelektronlar energiyasi, B E - vakum sathi, V E - valent zonaning eng yuqori sathi, F E - Fermi sathi. Bu yerda V E - valent zonaning eng yuqori sathi.Bu sath metallarda Fermi sathi bilan ustma-ust tushadi. -fotoelektronlarning chiqish ishi.U holda vakumga uchib chiqqan elektronlarning energiyasi quyidagiga teng bo’ladi.        V kin E hv E E (1.6) Jism ichidagi eng katta energiyaga ega bo’lgan elektronlar V E sahtda joylashgan bo’ladi,ya’ni E  EV sathdan uchib chiqqan elektronlar eng katta kinetik energiyaga ega bo’ladi.Demak E  EV bo’lgan hol uchun (1.6) quyidagi ko’rinishga ega bo’ladi. Ekin max  hv  . (1.7) Bu formula Eynshteyn formulasi deyiladi.(1.3-formulaga qarang) Elektronlar valent zonasining V E ga nisbatan qancha quyi sohasidan uchib chiqsa,uning vakumdagi kinetik energiyasi shuncha kam bo’ladi.Bunda ma’lum energiya bilan chiqayotgan fotoelektronlarning soni valent zonasidagi elektronlarning zichligiga bog’liq bo’ladi.Zichlik katta ( maksimum)bo’lgan sohalardan uchib chiqayotgan elektronlar soni ko’p,zichlik kichik bo’lgan sohalardan uchib chiqqan elektronlar soni esa kam bo’ladi. Metall va yarim o’tkazgichlarning valent zonasidagi elektronlarning energiya boyicha taqsimotini o’rganishda energiyasi ev hv 1015 bo’lgan fotonlardan foydalanish maqsadga muvofiqdir. Fotonlar energiyasi bundan katta bo’lsa,uchib chiqayotgan fotoelektronlar tarkibida ikkilamchi (fotoelektronlar jum ichida harakat qilishi vaqtda hosil qilgan)
                        
 
 
      1.2-rasm 
 
 
hv
hv
hv
hv
1.2-rasm hv hv hv hv
Elektronlarning miqdori oshib ketishi mumkin.Natijada fotoelektronlar spektrining 
ko’rinishi valent elektronlar spektridan farq qilishi mumkin.Agar 
ev
hv
1015
 
bo’lsa fotoelektronlar valent zonasining yuqori qismidangina chiqishi mumkin. 
       Dielektriklarning valent zonalarini tahlil qilishda esa fotoelektronlarning 
energiyasini 
2015ev
 gacha oshirish mumkin.chunki ta’qiqlangan zonasi keng 
bo’lgan dielektriklarda fotoelektronlarning chiqishi 
810ev
 ni tashkil qiladi. 
 
 
                             Bitiruv ishining asosiy vazifalari 
 
1.FES sohasi boyicha adabiyotlarni tahlil qilish 
 
2.UFES ning tuzilishini o’rganish: analizator, fotonlar manbasi,elektr 
sxemasi,vakum sharoitlari 
 
3.To’rt turli analizatorni yig’ish. 
 
4. Fotoelektron spektri yordamida metal va yarim o’tkazgichlarning energetik zona 
parametrlarini aniqlashni o’rganish. 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
Elektronlarning miqdori oshib ketishi mumkin.Natijada fotoelektronlar spektrining ko’rinishi valent elektronlar spektridan farq qilishi mumkin.Agar ev hv 1015 bo’lsa fotoelektronlar valent zonasining yuqori qismidangina chiqishi mumkin. Dielektriklarning valent zonalarini tahlil qilishda esa fotoelektronlarning energiyasini 2015ev gacha oshirish mumkin.chunki ta’qiqlangan zonasi keng bo’lgan dielektriklarda fotoelektronlarning chiqishi 810ev ni tashkil qiladi. Bitiruv ishining asosiy vazifalari 1.FES sohasi boyicha adabiyotlarni tahlil qilish 2.UFES ning tuzilishini o’rganish: analizator, fotonlar manbasi,elektr sxemasi,vakum sharoitlari 3.To’rt turli analizatorni yig’ish. 4. Fotoelektron spektri yordamida metal va yarim o’tkazgichlarning energetik zona parametrlarini aniqlashni o’rganish.
        II-bob.    Foto-elektronlar spektrometrining tuzilishi. 
Jism yuzasini o’rganish uchun undan fotonlar ta’sirida uchib chiqayotgan foto-
elektronlarni tahlil qilish usuli foto-elektronlar spektraskopiyasi deyiladi. 
Oji – elektronlar soni juda kam bo’lganligi uchun ular hosil qilgan tok ikkilamchi 
to’xtatuvchi potensialga (energiyaga ) bog’lanish 
ir (U)
egri chizig’iga umuman 
sezilmaydi.Ikkilamchi elektronlarning energetic spektrida ya’ni 
)
(
)
(
dir dEr
N E

 
oje-elektronlar juda kichik intensivlikka ega bo’lgan cho’qqichalar hosil 
qiladi.Ularni yaqqol sezishi uchun spektrdan yana bir marta hosila olinadi. 
 
                                          
2
2
2 /
/
dE
d
dE
dN
ir

 
     Foto elektronlarni hosil qilish,ularni qabul qilish va kuchaytirish, hamda oje 
differensiallangan energetic spektrlarni yozib olishlarni amalgam oshiruvchi 
qurilmalar 
fotoelektron 
spektrometrlat 
deb 
ataladi.Analizatorning 
(tahlillagichning)tuzilishi va ishlash prinsipiga qarab spektrometrlarning turlari har 
xil bo’ladi.Biz shulardan eng ko’p tarqalagan to’rt turli analizatorlarga ega bo’lgan 
foto-elektron spektri bulardan to’bdan farq qilmaydi. 
      
       2.1 To’xtatuvchi(tormozlovchi )maydonli analizatorga ega                     
                                   bo’lgan   spektrometrlar 
  
     Eng oddiy ko’rinishdagi UFES qurilmasi quyidagilardan iborat bo’ladi:Yuqori 
vakumli (
Pa
P
106
) kamera,fotonlar manbai,nishon (tekshirilayotgan jum)va 
electron analizator (spektrometr).UFES yuzaning holatiga uzviy bog’liq 
bo’lganligi tekshirishlar o’ta yuqori vakum sharoitida olib borilishi kerak.Fotonlar 
manbai yuqori darajada fokuslangan (nishondagi o’lcham 1mm),intensivligi 
kerakli darajada katta bo’lgan birlamchi fotonlar dastasini hosil qiladi.Ko’pincha 
bu fotonlar energiyasi 10-25 ev oralig’ida bo’ladi.Analizator esa fotoelektronlarni 
energiya boyicha taqsimlanishini tahlil qilishga xizmat qiladi. 
                                Analizatorlarning ishlash tamoyili 
    To’xtovchi maydonli analizator sferik (yarim sferik) ko’rinishdagi to’rlar (2 
tadan 4 tagacha ) va kollektordan iborat bo’ladi.To’rtta to’rga ega bo’lgan 
analizatorli spektrometrning chizmasi 2.1 – rasmda keltirilgan.Bu yerda T1 to’r 
nishondan uchib chiqayotgan elektronlarning maydonsiz fazoda harakatlanishini 
ta’minlashga xizmat qiladi.Buning uchun nishon bilan to’r T1 taxminan bir xil 
potensialga ega bo’lishi kerak (ular orasidagi kontakt potensiallar farqi Unt manba 
yordamida kompensatsiya qilinadi). 
    Shuning uchun fotoelektronlarning T1 gacha o’z yo’nalishlarini o’zgartirmay 
yetib keladi.Ikilamchi elektronlarni to’xtatuvchi potensial T1 va T2 oralig’ida 
beriladi.To’ztatuvchi Ut potensialning to’r katakchalari o’rtasida ham bir xilda 
qolishini ta’minlash uchun T2 ga juda yaqin qilib T3 to’r joylashtiriladi.Energiyasi 
to’xtatuvchi maydon energiyasidan katta bo’lgan ikkilamchi elektronlar 
kollektoriga tushadi.Kollektor va T2,T3 to’rlar orasidagi sig’imni keskin 
kamaytirish uchun ular orsiga T4 to’r joylashtiriladi. 
II-bob. Foto-elektronlar spektrometrining tuzilishi. Jism yuzasini o’rganish uchun undan fotonlar ta’sirida uchib chiqayotgan foto- elektronlarni tahlil qilish usuli foto-elektronlar spektraskopiyasi deyiladi. Oji – elektronlar soni juda kam bo’lganligi uchun ular hosil qilgan tok ikkilamchi to’xtatuvchi potensialga (energiyaga ) bog’lanish ir (U) egri chizig’iga umuman sezilmaydi.Ikkilamchi elektronlarning energetic spektrida ya’ni ) ( ) ( dir dEr N E  oje-elektronlar juda kichik intensivlikka ega bo’lgan cho’qqichalar hosil qiladi.Ularni yaqqol sezishi uchun spektrdan yana bir marta hosila olinadi. 2 2 2 / / dE d dE dN ir  Foto elektronlarni hosil qilish,ularni qabul qilish va kuchaytirish, hamda oje differensiallangan energetic spektrlarni yozib olishlarni amalgam oshiruvchi qurilmalar fotoelektron spektrometrlat deb ataladi.Analizatorning (tahlillagichning)tuzilishi va ishlash prinsipiga qarab spektrometrlarning turlari har xil bo’ladi.Biz shulardan eng ko’p tarqalagan to’rt turli analizatorlarga ega bo’lgan foto-elektron spektri bulardan to’bdan farq qilmaydi. 2.1 To’xtatuvchi(tormozlovchi )maydonli analizatorga ega bo’lgan spektrometrlar Eng oddiy ko’rinishdagi UFES qurilmasi quyidagilardan iborat bo’ladi:Yuqori vakumli ( Pa P 106 ) kamera,fotonlar manbai,nishon (tekshirilayotgan jum)va electron analizator (spektrometr).UFES yuzaning holatiga uzviy bog’liq bo’lganligi tekshirishlar o’ta yuqori vakum sharoitida olib borilishi kerak.Fotonlar manbai yuqori darajada fokuslangan (nishondagi o’lcham 1mm),intensivligi kerakli darajada katta bo’lgan birlamchi fotonlar dastasini hosil qiladi.Ko’pincha bu fotonlar energiyasi 10-25 ev oralig’ida bo’ladi.Analizator esa fotoelektronlarni energiya boyicha taqsimlanishini tahlil qilishga xizmat qiladi. Analizatorlarning ishlash tamoyili To’xtovchi maydonli analizator sferik (yarim sferik) ko’rinishdagi to’rlar (2 tadan 4 tagacha ) va kollektordan iborat bo’ladi.To’rtta to’rga ega bo’lgan analizatorli spektrometrning chizmasi 2.1 – rasmda keltirilgan.Bu yerda T1 to’r nishondan uchib chiqayotgan elektronlarning maydonsiz fazoda harakatlanishini ta’minlashga xizmat qiladi.Buning uchun nishon bilan to’r T1 taxminan bir xil potensialga ega bo’lishi kerak (ular orasidagi kontakt potensiallar farqi Unt manba yordamida kompensatsiya qilinadi). Shuning uchun fotoelektronlarning T1 gacha o’z yo’nalishlarini o’zgartirmay yetib keladi.Ikilamchi elektronlarni to’xtatuvchi potensial T1 va T2 oralig’ida beriladi.To’ztatuvchi Ut potensialning to’r katakchalari o’rtasida ham bir xilda qolishini ta’minlash uchun T2 ga juda yaqin qilib T3 to’r joylashtiriladi.Energiyasi to’xtatuvchi maydon energiyasidan katta bo’lgan ikkilamchi elektronlar kollektoriga tushadi.Kollektor va T2,T3 to’rlar orasidagi sig’imni keskin kamaytirish uchun ular orsiga T4 to’r joylashtiriladi.
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
                                                   (2.1-rasm) 
 
 
 
(2.1-rasm)
To’xtatuvchi potensialni asta-sekin 0 dan U1 gacha monoton o’zgartira borib it(U2) 
ya’ni, i(E) bog’lanish egri chizig’ini yozish mumkin.Bu bog’lanishning hosilasini 
olish uchun T2 3 to’rga Ut bilan birgalikda   chastotali ozgina kuchlanish 
(
t
k
U
sin


) 
beriladi.Bu 
yerda 
k
k
3
0,5


atrofida 
bo’ladi.Natijada 
kollektorga o’tayotgan fototok   chastota bilan modulyatsiyalangan ( tebrangan ) 
bo’ladi,ya’ni uni quyidagicha yozish mumkin. 
 
 
....
2
sin
sin
)
(
)
sin
(
2
2
'2
1





t
I k
t
I k
U
I
t
k
U
I
o








           (2.1) 
     Ma’lum almashtirishdan keyin (2.1)ni quyidagicha yozish mumkin. 
 
                     
...
/2
(
)
(
)
sin
(
2
3





k
I
I k
U
I
t
k
U
I
I
o





 
 
                     
t
I
k
I
t




... cos
48
4
sin
4
2
2









 
Bu yerda 
I (U )
-vaqtga bog’liq bo’lmagan hamma hadlarini o’z ichiga oladi 
kU
bo’lganligi uchun 
3
k  va undan yuqori darajali hadlarni tashlab yuborsak 
 
 
(2.2) 
Qabul qiluvchi sistemadagi dastlabki va rezonans kuchaytirgichlarni hamda 
sinxron dedektorni  chastotaga ishlaydigan qilib sozlasa yozib oluvchi  
qurulmada  N(E) qayd qilinadi  N(E)  spektr fotoelektorlarning birinchi 
garmonikasining ampilitudasi   
k
I I

 ga proporsionol bo’ladi. Qayd qiluvchi 
sistemani  
2
 chastotaga sozlab 
k 2
I I

amplitudaga proporsional bo’lgan 


dE
dN
N I E
/
( )

 signallarni yozib olish mumkin. 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
t
I k
t
k
I
U
I
t
k
U
I
o







cos2
4
)
( sin
)
(
)
sin
(
2
2
1




To’xtatuvchi potensialni asta-sekin 0 dan U1 gacha monoton o’zgartira borib it(U2) ya’ni, i(E) bog’lanish egri chizig’ini yozish mumkin.Bu bog’lanishning hosilasini olish uchun T2 3 to’rga Ut bilan birgalikda  chastotali ozgina kuchlanish ( t k U sin   ) beriladi.Bu yerda k k 3 0,5   atrofida bo’ladi.Natijada kollektorga o’tayotgan fototok  chastota bilan modulyatsiyalangan ( tebrangan ) bo’ladi,ya’ni uni quyidagicha yozish mumkin. .... 2 sin sin ) ( ) sin ( 2 2 '2 1      t I k t I k U I t k U I o         (2.1) Ma’lum almashtirishdan keyin (2.1)ni quyidagicha yozish mumkin. ... /2 ( ) ( ) sin ( 2 3      k I I k U I t k U I I o      t I k I t     ... cos 48 4 sin 4 2 2          Bu yerda I (U ) -vaqtga bog’liq bo’lmagan hamma hadlarini o’z ichiga oladi kU bo’lganligi uchun 3 k va undan yuqori darajali hadlarni tashlab yuborsak (2.2) Qabul qiluvchi sistemadagi dastlabki va rezonans kuchaytirgichlarni hamda sinxron dedektorni  chastotaga ishlaydigan qilib sozlasa yozib oluvchi qurulmada N(E) qayd qilinadi N(E) spektr fotoelektorlarning birinchi garmonikasining ampilitudasi k I I  ga proporsionol bo’ladi. Qayd qiluvchi sistemani 2 chastotaga sozlab k 2 I I  amplitudaga proporsional bo’lgan   dE dN N I E / ( )  signallarni yozib olish mumkin. t I k t k I U I t k U I o        cos2 4 ) ( sin ) ( ) sin ( 2 2 1    
2.2 Fotonlar manbai 
Qattiq jism yuzalarining elektron tuzilishini o’rganishga asosan ultrabinafsha 
nurlardan foydalaniladi.Bunda valent zonada elektronlarning taqsimlanishi va 
zonalarning parametrlarini aniqlash uchun fotonnning energiyasi 
ev
hv
1020
 
Qilib olinadi.Fotonning manbai sifatida kriptonli,ksenonoli,vodorodli ,standart 
chiziqli spektrga ega bo’lgan lampalardan foydalaniladi.Bunda asosan quyidagi 
spektrlardan foydalanish qulay bo’ladi.Vodorod 115Nm (10,8ev)123,6Nm (10.2 
ev),krypton (8.4ev)va simob 60.8Nm (21ev).Ko’pincha ultrabinafsha nurlarning 
havoda yutilishini kamaytirish uchun fotonlar manbai yuqori vakumli kameraga 
joylashtiriladi.Gazerazryad lampa (
л
Г )tuzilishinig sxematik tasviri va uni elektr 
manbasiga ulash sxemasi 2.2-rasmda keltirilgan.Yuqori darajada stabil ishlaydigan 
YUП-1 manbasining o’zgaruvchan 6.3V li kleniklariga 
л
Г  ning nakol tolasi 
ulanadi.Undan uchib chiqqan elektronlar lampa uchiga to’ldirilgan gaz bilan 
to’qnasha boshlaydi.Anod A ga o’zgarmas kuchlanishli manbaning musbat qutbi 
ulanadi.Razryadni vijudga keltirish uchun T anodgagiga nisbatan qattiqroq 
kuchlanish beradi.Razryad vijudga kelgach to’r potensiali tezda uziladi.Razryad 
ya’ni elektronlarning gaz molekulalari bilan to’qnashuvi natijasida hosil bo’lgan 
nur 
л
Г  ning magnit ftoridli tirqishidan o’tib,kollemator orqali nishon yuzasiga 
borib tushadi. 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
       (2.2-rasm) 
2.2 Fotonlar manbai Qattiq jism yuzalarining elektron tuzilishini o’rganishga asosan ultrabinafsha nurlardan foydalaniladi.Bunda valent zonada elektronlarning taqsimlanishi va zonalarning parametrlarini aniqlash uchun fotonnning energiyasi ev hv 1020 Qilib olinadi.Fotonning manbai sifatida kriptonli,ksenonoli,vodorodli ,standart chiziqli spektrga ega bo’lgan lampalardan foydalaniladi.Bunda asosan quyidagi spektrlardan foydalanish qulay bo’ladi.Vodorod 115Nm (10,8ev)123,6Nm (10.2 ev),krypton (8.4ev)va simob 60.8Nm (21ev).Ko’pincha ultrabinafsha nurlarning havoda yutilishini kamaytirish uchun fotonlar manbai yuqori vakumli kameraga joylashtiriladi.Gazerazryad lampa ( л Г )tuzilishinig sxematik tasviri va uni elektr manbasiga ulash sxemasi 2.2-rasmda keltirilgan.Yuqori darajada stabil ishlaydigan YUП-1 manbasining o’zgaruvchan 6.3V li kleniklariga л Г ning nakol tolasi ulanadi.Undan uchib chiqqan elektronlar lampa uchiga to’ldirilgan gaz bilan to’qnasha boshlaydi.Anod A ga o’zgarmas kuchlanishli manbaning musbat qutbi ulanadi.Razryadni vijudga keltirish uchun T anodgagiga nisbatan qattiqroq kuchlanish beradi.Razryad vijudga kelgach to’r potensiali tezda uziladi.Razryad ya’ni elektronlarning gaz molekulalari bilan to’qnashuvi natijasida hosil bo’lgan nur л Г ning magnit ftoridli tirqishidan o’tib,kollemator orqali nishon yuzasiga borib tushadi. (2.2-rasm)
         2.3.   To’rt to’rli analizatorni yig’ish shartlari. 
Elektronlar analizatori ekran,kollektor va 4-ta sferik to’rlardan tashkil 
topgan.Ularni sxematik ko’rinishi 2.3-rasmda keltirilgan.Ma’lumki elektronlar 
energetik spektrlarni o’rganish jarayonida eng yaxshi natijaga erishish uchun 
to’rlar maxsus talablarni qondirishi kerak.Birinchidan tomozlovchi to’r sifatida 
uning sirtini to’xtatuvchi maydonning lokal o’zgarishlari ta’siridan xolos etish 
uchun bir-biridan yaqin masofada joylashgan ikkita to’rdan foydalanish 
kerak.Ikkinchidan Analizatorning dref to’ri imkoni boricha zich (kichik 
o’lchamdagi katachadan ) iborat bo’lishi va uning radiusi esa to’r radiusidan ikki 
marta kichik bo’lishi kerak.Bu esa o’z navbatida to’xtatuvchi maydon sohasiga 
kirayotgan elektronlarning traektoriyasi o’zgarmasligini ta’minlaydi.Bundan kelib 
chiqib,hamda mustahkamlik va yuqori yorug’lik intensivligi talablarini hisobga 
olgan holda sferalar radiuslari T1=32 , T2=50 , T3=52 va T4=60 mm qilib 
olinadi.Bunda geometrik shaffofligi 80 % bo’lgan moliogen simlardan 
tayyorlangan kichik katodli to’rlardan foydalaniladi.Kollektor radiusini 65mm 
qilib olish  mumkin.Analizatorni kamera ichidagi adashgan elektronlar va har xil 
tashqi elektr maydonlaridan saqlash uchun analizator,radiusi 70mm bo’lgan 
himoya sferasiga ekran kiritilgan.Himoya sferasi kollektor va himoya to’rlari 
xalqali metal ( zanglamas p’olat ) plastinkaga mahkam qotirilgan.Naqtijada 
asbobni yig’ishga analizator elektrodlarini markazga yo’naltirishga o’rin qolmaydi. 
      Analizatorni yig’ishda zanglamaydigan po’latdan tayyorlangan har xil radiusli 
yarim sferik formulalardan foydalaniladi.To’rlar bu formulalarga qattiq tortildi va 
maxsus xalqalarga mahkamlandi.Kollektor va ekranlovchi sfera qalinligi 1 mm 
bo’lgan titan listlardan tayyorlandi.Buning uchun bu listlar doira shaklida qirqib 
olindi,uning o’rtasidan teshik ochildi.Doira 12 ta o’zaro teng segmentlarga ajratildi 
va radiusining 2/3 qismigacha markazga qarab qirqildi.Hosil bo’lgan shakl sferik 
forma yodamida qo’rg’oshin quymasi yuzasiga quyib urila boshlandi.Quyma va 
sfera orsiga qisma berib titan list yarim sferik shaklga  kirdi.Ularga ham xalqalar 
mustahkamlangan.Ekranlovchi yarim sferikning markaziga tik ravishda diametri 
10 mm bo’lgan kollektor mahkamlandi.To’rlar kollektor va ekran bir-biriga 
izolyatorlar yordamida o’zaro simmetrik qilib mahkamlanadi. 
 
                                                 Yuqori vakum olish 
     Qattiq jism sirtida sodir bo’layotgan hodisalarni o’rganishning zaruruiy sharti 
yuqori vakkum hosil qilish hisoblanadi.Ishchi kamerada ( 
Pa
P
107
) zaruriy 
vakumni hosil qilish uchun moysiz surish sistemasidan foydalaniladi. 
      Surish avval seolit nasos bilan,sungra magnet zaryadli nasos bilan amalgam 
oshiriladi.Asbobni hamma qismlarini bir necha soat davomida qizdirilgandan sung 
HMD-0.4 nasosi yordamida vakum 
10 7 Pa
5

 
 ga yetkaziladi.
 107 Pa
 vakum 
olinguncha surish suyuq azod bilan sovutib turiladigan titanli sublimatsion nasosda 
davom ettiriladi. 
 
 
 
 
2.3. To’rt to’rli analizatorni yig’ish shartlari. Elektronlar analizatori ekran,kollektor va 4-ta sferik to’rlardan tashkil topgan.Ularni sxematik ko’rinishi 2.3-rasmda keltirilgan.Ma’lumki elektronlar energetik spektrlarni o’rganish jarayonida eng yaxshi natijaga erishish uchun to’rlar maxsus talablarni qondirishi kerak.Birinchidan tomozlovchi to’r sifatida uning sirtini to’xtatuvchi maydonning lokal o’zgarishlari ta’siridan xolos etish uchun bir-biridan yaqin masofada joylashgan ikkita to’rdan foydalanish kerak.Ikkinchidan Analizatorning dref to’ri imkoni boricha zich (kichik o’lchamdagi katachadan ) iborat bo’lishi va uning radiusi esa to’r radiusidan ikki marta kichik bo’lishi kerak.Bu esa o’z navbatida to’xtatuvchi maydon sohasiga kirayotgan elektronlarning traektoriyasi o’zgarmasligini ta’minlaydi.Bundan kelib chiqib,hamda mustahkamlik va yuqori yorug’lik intensivligi talablarini hisobga olgan holda sferalar radiuslari T1=32 , T2=50 , T3=52 va T4=60 mm qilib olinadi.Bunda geometrik shaffofligi 80 % bo’lgan moliogen simlardan tayyorlangan kichik katodli to’rlardan foydalaniladi.Kollektor radiusini 65mm qilib olish mumkin.Analizatorni kamera ichidagi adashgan elektronlar va har xil tashqi elektr maydonlaridan saqlash uchun analizator,radiusi 70mm bo’lgan himoya sferasiga ekran kiritilgan.Himoya sferasi kollektor va himoya to’rlari xalqali metal ( zanglamas p’olat ) plastinkaga mahkam qotirilgan.Naqtijada asbobni yig’ishga analizator elektrodlarini markazga yo’naltirishga o’rin qolmaydi. Analizatorni yig’ishda zanglamaydigan po’latdan tayyorlangan har xil radiusli yarim sferik formulalardan foydalaniladi.To’rlar bu formulalarga qattiq tortildi va maxsus xalqalarga mahkamlandi.Kollektor va ekranlovchi sfera qalinligi 1 mm bo’lgan titan listlardan tayyorlandi.Buning uchun bu listlar doira shaklida qirqib olindi,uning o’rtasidan teshik ochildi.Doira 12 ta o’zaro teng segmentlarga ajratildi va radiusining 2/3 qismigacha markazga qarab qirqildi.Hosil bo’lgan shakl sferik forma yodamida qo’rg’oshin quymasi yuzasiga quyib urila boshlandi.Quyma va sfera orsiga qisma berib titan list yarim sferik shaklga kirdi.Ularga ham xalqalar mustahkamlangan.Ekranlovchi yarim sferikning markaziga tik ravishda diametri 10 mm bo’lgan kollektor mahkamlandi.To’rlar kollektor va ekran bir-biriga izolyatorlar yordamida o’zaro simmetrik qilib mahkamlanadi. Yuqori vakum olish Qattiq jism sirtida sodir bo’layotgan hodisalarni o’rganishning zaruruiy sharti yuqori vakkum hosil qilish hisoblanadi.Ishchi kamerada ( Pa P 107 ) zaruriy vakumni hosil qilish uchun moysiz surish sistemasidan foydalaniladi. Surish avval seolit nasos bilan,sungra magnet zaryadli nasos bilan amalgam oshiriladi.Asbobni hamma qismlarini bir necha soat davomida qizdirilgandan sung HMD-0.4 nasosi yordamida vakum 10 7 Pa 5    ga yetkaziladi.  107 Pa vakum olinguncha surish suyuq azod bilan sovutib turiladigan titanli sublimatsion nasosda davom ettiriladi.